多晶硅反应配比怎么计算
改良西门子法：Si+3HCl =SiHCl3+H23SiCl4+2H2+Si=2SiHCl3+SiCl4+SiH2Cl23SiHCl3+H2=Si + SiHCl3(没有转化的)+2HCl+2H2(回收的)硅烷流化床法：(1)氢化： Na+ Al+ 2H2= NaAlH4 (1)(2)四氟化硅生成：H2SiF6= SiF4+ 2HF (2)(3)硅烷生成： SiF4 + NaAlH4 = SiH4 + NaAlF4 (3)(4)多晶硅生成： SiH4 = Si+ 2H2 (4)